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装备子集团在线式等离子清洗工艺设备成果达到国际先进水平

来源:装备子集团     作者:     发布时间:2014年08月20日              

近日,装备子集团自主研发的“在线式等离子清洗工艺设备”经山西省科技厅鉴定,达到国际先进水平,获得授权6项专利。

该设备在国家02专项的支持下研发成功,适用于集成电路封装过程中引线框架键合前清洗,主要通过化学及物理作用对表面进行清洗,去除材料表面的有机污染物、微颗粒污染物和氧化物薄膜,同时改善材料表面性质,有效提高粘结、焊接、封装的可靠性,具有技术环保、效率高、成本低、处理更精密等诸多优点。目前,该设备已应用于国内多家主流集成电路封测企业。

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